Synthesis and Characterization of Boron Thin Films Using Chemical and Physical Vapor Depositions
نویسندگان
چکیده
Boron as thin film material is of relevance for use in modern micro- and nano-fabrication technology. In this research boron films are realized by a number physical chemical deposition methods, including magnetron sputtering, electron-beam evaporation, plasma enhanced vapor (CVD), thermal/non-plasma CVD, remote CVD atmospheric pressure CVD. Various physical, mechanical characteristics these investigated, i.e., rate, uniformity, roughness, stress, composition, defectivity resistance. (PECVD) found to be inert conventional wet etchants have the lowest amount defects, which makes best candidate integrated into micro-fabrication processes. By varying parameters PECVD process, influences power, precursor inflow on rate intrinsic stress further explored. Utilization hard mask etching demonstrated means patterning followed selective structuring silicon substrate, shows that can successfully applied micro-fabrication.
منابع مشابه
architecture and engineering of nanoscale sculptured thin films and determination of their properties
چکیده ندارد.
15 صفحه اولsynthesis and characterization of some macrocyclic schiff bases
ماکروسیکلهای شیف باز از اهمیت زیادی در شیمی آلی و دارویی برخوردار می باشند. این ماکروسیکلها با دارابودن گروه های مناسب در مکانهای مناسب می توانند فلزاتی مثل مس، نیکل و ... را در حفره های خود به دام انداخته، کمپلکسهای پایدار تولید نمایند. در این پایان نامه ابتدا یک دی آلدئید آروماتیک از گلیسیرین تهیه می شود و در مرحله بعدی واکنش با دی آمینهای آروماتیک و یا آلیفاتیک در رقتهای بسیار زیاد منجر به ت...
15 صفحه اولsynthesis of amido alkylnaphthols using nano-magnetic particles and surfactants
we used dbsa and nano-magnetic for the synthesis of amido alkylnaphtols.
15 صفحه اولCharacterization of boron carbide thin films fabricated by plasma enhanced chemical vapor deposition from boranes
متن کامل
preparation and characterization of new co-fe and fe-mn nano catalysts using resol phenolic resin and response surface methodology study for fischer-tropsch synthesis
کاتالیزورهای co-fe-resol/sio2و fe-mn-resol/sio2 با استفاده از روش ساده و ارزان قیمت همرسوبی تهیه شدند. از رزین پلیمری resol در فرآیند تهیه کاتالیزور استفاده شد.
ذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: Coatings
سال: 2022
ISSN: ['2079-6412']
DOI: https://doi.org/10.3390/coatings12050685